Микроэлектроника
ООО «БМТ» проектирует и изготавливает установки получения глубоко обессоленной воды, используемой в технологии производства электронных компонентов, полупроводниковых микроэлементов, электронных плат, жидкокристаллических дисплеев и т.д. в соответствии с технологическими требованиями к очищенной воде.
ГОСТ 6709-72 «Вода дистиллированная. Технические условия»;
- ОСТ 11. 029.003 – 80. «Изделия электронной техники. Вода, применяемая в производстве. Марки, технические требования, методы очистки и контроля»;
- D5127-90 на воду для электроники Американского общества измерений и материалов (ASTM);
- другим отраслевым стандартам, требованиям фирм-производителей.
Удельное электрическое сопротивление очищенной воды для микроэлектроники до 18 МОм*см (деионизованная вода).
Установки водоподготовки для микроэлектроники включают следующие узлы:
· предварительная механическая очистка
· обессоливание (одно, либо двухступенчатое) методом обратного осмоса
· Н-катионирование, ОН-анионирование
· декарбонизация и деаэрация
· фильтр со смолой смешанного действия – ФСД (либо электродеионизатор)
· другие методы и различные варианты их сочетания.